标题:芯片轮廓影像座标测量金相显微镜-细微的小工件

信息分类:站内新闻   作者:yiyi发布   时间:2013-9-20 12:52:42 将本页加入收藏

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正文:

芯片轮廓影像座标测量金相显微镜-细微的小工件

两次电极涂布对位误差补偿技术
撷取硅芯片局部影像后,接着将储存局部影像的资料夹读入误差
补偿软体中进行补偿值运算。

首先,软体会利用影像寻边方法找出各影像上芯片轮廓及电极的外轮廓,
寻边后的轮廓点以固定长度切分,切分后的线段分别嵌合成直线,

而误差过大之线段判定为杂讯或印刷错误并将其排除。

接着分别嵌合芯片及电极之水平及垂直线并找出四角交点,
而两水平线的平分线及两垂直线的平分线之交点即为中心点。

角度定义方式则将上下两水平线相对于影像之角度平均与左右两
垂直线相对于影像之角度平均,再将两者取平均后即为芯片或电极相
对于影像的角度误差。误差补偿值则定义为 x、y、θ,其 x 和 y 表示
电极中心相对于芯片中心的座标误差值,而 θ 则为电极与芯片的角度
误差。因此,即可计算出电极涂布区域与芯片边界之间的误差关系










出自http://www.xjkdv.com/北京显微镜百科
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